实验室镀膜机 实验镀膜机 镀膜机
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- 北京科创鼎新真空技术有限公司
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本镀膜机主要应用于大专院校、科研机构、企业实验室及微小产品进行真空镀膜等真空处理的工艺研究、样板试制、操作培训和生产。
该设备主机与控制一体化设计,操控方便;结构紧凑,占地面积小。该系列设备广泛应用于高校、科研院所的教学、科研实验以及生产型企业前期探索性实验及开发新产品等,深受广大用户好评。
技术参数:
1、真空腔室:ф300×H360mm, 304 优质不锈钢真空腔室/(不包含真空机组,
480x320x460mm宽X高X深)
2、真空系统:复合分子泵+直联旋片泵+高真阀门高真空系统,数显复合真空计;
3、真空极限:(空载)8.0×10-5Pa;
4、漏率:≤0.8Pa/h;
5、抽速:(空载)从大气抽至 5.0×10-3Pa≤13min;
6、膜厚不均匀性:≤±5%(基片台Φ80mm 范围内);
7、其他:磁控溅射和蒸发镀一体机等。