CVD实验真空气氛管式炉(石墨烯工艺)
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基础信息
主要用途广泛适用于高、中、温CVD工艺,例如品牌日新(risine)电压380 V功率4500W型号CVD(D)-04/50/2产品认证ISO加工定制是额定温度1600 ℃供应CVD实验真空气氛管式炉(石墨烯工艺) 应用领域: 真空气氛管式炉(管式炉、实验电炉、高温电炉)广泛适用于高、中、温CVD工艺,例如:碳纳米管的研制、晶体硅基板镀膜、纳米氧化锌结构的可控生长等等;也可适用于金属材料的扩展焊接以及真空或保护气氛下热处理。 主要特点: 真空气氛管式炉(管式炉、实验电炉、高温电炉)采用高纯石英管或刚玉管作为内炉膛。可拆卸式的三面密封方式,具有良好的洁净度和真空度;耐火,保温材料全部采用的轻质纤维制品,整机质量轻、能耗;真空气氛管式炉(管式炉、实验电炉、高温电炉)加热元件采用U型硅铝(碳)棒或原装进口电阻丝;本系列真空气氛管式炉(管式炉、实验电炉、高温电炉)温控系统采用进口多段智能程序温度控制仪控制,温度控制具有良好的稳定性、重复性。 技术指标: 设备型号 CVD(D)-06/60/3 CVD(Z)-06/30/1 CVD(G)-07/50/2 CVD(G)-09/50/1 温度 1050℃ 1300℃ 1650℃/1000℃ 1650℃ 使用温度 RT—1000℃ 850-1300℃ 1000-1600℃ 1000-1600℃ 控制精度 ±1.5℃ ±1.5℃ ±1.5℃ ±1.5℃ 温区个数 3个 1个 2个 1个 加热区长度 600mm 300mm 500mm(300mm/200mm) 500mm 炉管尺寸 ф60(外径)×1400(mm) ф60(外径)×1000(mm) ф70(外径)×1450(mm) ф90(外径)×1450(mm) 炉管材料 石英管 刚玉管 刚玉管 刚玉管 发热元件 进口电阻丝 电阻丝/硅碳棒 硅钼棒、电阻丝 硅钼棒 装机功率 4.5KW 3kw/8kw 10kw 12kw CVD-□□□ 选件功能 /□ /□ V 真空系列:单级机械泵+扩散泵机组 Q 气氛系统:浮子流量计;进口/国产质量流量计 备注:以上设备系统具备冷态极限真空6.67×10-2Pa接口条件;其他特殊工艺要求的订货时请说明。 价格根据工艺要求不同价格不同。 具体详细参数请参照合肥日新高温技术有限公司企业门户网站,地址搜索:www.risine.com 设备型号 CVD(D)-06/60/3 CVD(Z)-06/30/1 CVD(G)-07/50/2 CVD(G)-09/50/1 温度 1050℃ 1300℃ 1650℃/1000℃ 1650℃ 使用温度 RT—1000℃ 850-1300℃ 1000-1600℃ 1000-1600℃ 控制精度 ±1.5℃ ±1.5℃ ±1.5℃ ±1.5℃ 温区个数 3个 1个 2个 1个 加热区长度 600mm 300mm 500mm(300mm/200mm) 500mm 炉管尺寸 ф60(外径)×1400(mm) ф60(外径)×1000(mm) ф70(外径)×1450(mm) ф90(外径)×1450(mm) 炉管材料 石英管 刚玉管 刚玉管 刚玉管 发热元件 进口电阻丝 电阻丝/硅碳棒 硅钼棒、电阻丝 硅钼棒 装机功率 4.5KW 3kw/8kw 10kw 12kw CVD-□□□ 选件功能 /□ /□ V 真空系列:单级机械泵+扩散泵机组 Q 气氛系统:浮子流量计;进口/国产质量流量计 备注:以上设备系统具备冷态极限真空6.67×10-2Pa接口条件;其他特殊工艺要求的订货时请说明。 价格根据工艺要求不同价格不同。 具体详细参数请参照合肥日新高温技术有限公司企业门户网站,地址搜索:www.risine.com