扩晶环 4寸、6寸、8寸 固晶环

品名：扩晶环（固晶环）

颜色：白色、黑色、绿色、红色、蓝色

类型：带卡槽、不带卡槽

规格：4寸、5寸、6寸、7寸、8寸、10寸、12寸

组合后规格： 尺寸        内径(mm)       外径(mm)

             4寸          103             116

             5寸          122             135

             6寸        139、141          152

             7寸        170、172          186

             8寸        195、197          210

             10寸       227、240        249、257

             12寸         326             345    

客户如需其它规格的扩晶环，可来电咨询订制作。 

 

一、机器用途 

KJ-04/06型镜片扩张机被广泛应用与发光二极管，中小型功率三极管，集成电路和一些特殊半导体器件生产企的晶粒扩张工序。 

二、机器特点： 

①采用双气缸上下控制； 

②恒温设计，膜片周边扩张均匀适度； 

③加热，拉伸，扩晶，固膜一次完成； 

④加热温度，扩张时间，回程速度均匀可调； 

⑤操作简便，单班产量大； 

⑥机器外型见实物。 

三、技术参数： 

1、电源电压：220VAC（50Hz)士10% 

2、工作气压：4Kg/cm2 

3、温度范围：室温~150℃ 

4、上气缸行程：200mm 

5、下气缸行程：100mm（可双向调节） 

6、扩张面积：120/270cm2 

7、外型尺寸：270x220x820mm(长x宽x高） 

8、机器重量：20Kg 

四、操作步骤： 

1、插上电源，气管快速接头接上高压气管； 

2、打开电源开关，将温度设定于75℃（不同晶片膜温差异士5℃）； 

3、将上气缸开关拨“上升”位置，上压模回上方，将下气缸开关拨下降位置，下压模回下方（几次下气缸动作，将上升速度调整适合速度） 

4、松开锁扣，掀起上工件板，先将扩晶环内环放于下压模上，再将粘有晶片的翻晶膜放于下工件正，晶片朝上，将上工件板盖上，锁紧锁扣。 

5、将下气缸开关拨“上升”位置，下压模徐徐上升，薄膜开始向四周扩散，晶粒间隔逐渐拉大，当晶片间隔扩散原来的2~3倍时既停止上升，将扩晶环外环圆角朝下平放在薄膜与内环正上方。 

6、将上气缸开关拨“下降”位置，上压模下降，将扩散后的翻晶膜套紧定位，上压模回上方。 

7、将下气缸开关拨“下降”位置，下压模下降下方，取出扩晶完毕的翻晶膜，修剪多余膜面，送下工序备胶固晶。