纳米机械手-纳米操作机-纳米操纵仪

纳米操作机LF-2000

 

小尺寸：小型化设计，结构紧凑

高精度：纳米级微操作

易操作：XYZ直角坐标，支持PC/遥感操作

 

产品简介

TNI LF-2000是兼容SEM/FIB的自动化纳米操作系统，也是能够在SEM/FIB下提供可重复定位、漂移、闭环运动控制定位的纳米操作系统。

产品特性

 · 兼容主流电镜，不影响电镜功能
· 具有大行程、亚纳米分辨率运动定位性能

· 位移传感器集成自动化和可编程运动
· SEM真空环境优化设计，可快速安装与拆卸

规格参数

系统概况	系统尺寸	127x127x33mm3*
	机械手数量	1-4
操作手（宏动）	驱动原理	粘滑驱动
	运动范围	XY轴：10mm Z轴：5mm
	速度	>3mm/s
	小步长	<100nm
操作手（微动）	驱动原理	无摩擦柔性铰链
	运动范围	XYZ轴：20μm
	速度	>45μm/s
	开环运动分辨率	0.5nm
	闭环运动分辨率	1nm
	定位漂移率	<0.35nm/min
软件功能**	点击-移动	鼠标在电脑屏幕上从A移动到B
	自适应放大倍数	定位器移动速度根据SEM放大自动调整
	操作手位置保存/加载	用户自定义的“保存/加载”操作手坐标
	3D虚拟显示	实时三维显示操作手的位置和运动
	自动校准	操作手闭环传感器自动校准
	运动轴的自动对准	所有操作手运动轴自动对准SEM图像轴

 

*系统尺寸可根据需要减小到50x50x17mm³

**可根据选定SEM/FIB的型号而定

   

应用案例

电学特性

LifeForce为纳米材料提供可靠、噪音的电测量，以及与纳米结构的原位相互连接。实例照片展示的是四探针测量纳米线电学性能。 

力学测量

LifeForce为纳米材料的力学特性提供高分辨率的力和位移反馈，实例照片展示的是用球端AFM悬臂探针对硅纳米线簇进行纳米压痕，以及对单根纳米线的拉伸测试。

拾取和放置操作

使用末端工具（例如：探针、微纳米夹持器、超声切割针），操作者能够操作LifeForce纳米操作手在SEM电镜内对微纳米物体进行推、拉和抓取等操作。

制作微纳米器件

精密的操作手运动能够实现微纳米器件的快速成型和后处理。实例照片展示的是纳米线FET传感器的构造。

纳米电子器件电学测量

LifeForce纳米操作机是市面上能够自动探测电子结构（范围从亚微米，亚100nm及亚20nm）。只需要通过计算机点击鼠标，将探针定位到目标位置。极得定位漂移，数据采集得可靠性。

 

 主要软件功能

①　位置反馈：提供每个操作手XYZ得位置反馈，1纳米运动定位分辨率。

②　保存/加载坐标：保存和加载多个操作手得坐标。

③　自动校准：限度地提高定位性能，并将操作手运动轴对准扫描电子显微镜图像轴。

④　3D虚拟显示：实时3D虚拟空间显示操作手（粉红色方块）和样品（绿色平面）得位置。

⑤　点击-移动：通过在屏幕上鼠标点击控制操作手运动。

⑥　多操作手联动：连接多个操作手得运动，具有纳米级精度。

⑦　图片-视频录制：保存操作过程中的高清图片和视频。