可移动排气台
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可移动排气台方案配置说明
一、配置(简单气路,不用旁抽):
分子泵:JTFB-1600,抽速1600L/s的国产风冷复合分子泵;
机械泵:TRP-36,抽速9L/s的合资机械泵;
复合真空计:PDF-5227,测量范围大气压—10-5Pa,含CF35
电离规和KF16电阻规;
转接真空室:CF250—CF150,高度200mm;
插板阀:CF150手动;
防返油阀:KF40压差隔断放气阀,电磁驱动;
波纹管:1根 CF150*1500mm+1根 KF40*500mm
移动平台:带围板的小车。